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主要技术指标
| 品名 | Al靶材 | ||||||||||
| 成分 | Al | ||||||||||
| 外观 | 银白色，片状或管状等其他形状 | ||||||||||
| 纯度% | 5N | ||||||||||
| 相对密度 % | ≥98% | ||||||||||
| 制造规格（m m） | Φ125* Φ171 * L2342、W1130 *L1200 *T10、W200*L2650*T12 | ||||||||||
| 杂质不大于 | Fe | Ti | Si | Ni | Na | Cu | Mg | K | Mo | Cr | 总和 |
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2 |
1 |
2 |
1 |
1 |
2 |
2 |
2 | 1 | 1 | 10 |
