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氧化铟靶材
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氧化铟靶材
氧化铟靶
主要用途:磁控溅射制备TCO透明导电膜
物理及化学特性
化学式:In2O3
外观:蓝灰色块状陶瓷
晶粒度:5-15μm
相对密度:≥95%
纯度:≥99.99%
产品检测方法
晶粒度:扫描电镜(SEM)观察
纯度:ICP—AES分析测试杂质含量。
密度:排水法
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