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主要技术指标
| 品名 | ITO靶材 | ||||||||
| 成分 | In₂O₃:SnO₂(90:10±0.5wt),其他比例按客户要求 | ||||||||
| 外观 | 黑色或黑灰色，片状或管状等其他形状 | ||||||||
| 纯度% | ≥99.99% | ||||||||
| 相对密度 % | ≥99.5% | ||||||||
| 制造规格（m m） | 最大尺寸1200*300的平面靶，Φ136*Φ152*L400mm的管状靶 | ||||||||
| 电阻率（mΩ.cm） | ≤1.8×10⁻⁴Ω▪cm | ||||||||
| 杂质不大于 | Fe | Al | Si | Ni | Cu | Pb | Cr | 总和 |
|
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15 | 10 | 15 | 5 | 5 | 5 | 5 | 100 |
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ITO旋转靶
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