主要技术指标
品名 | Nb₂Ox靶材 | ||||||||
成分 | Nb₂Ox | ||||||||
外观 | 黑灰色,片状或管状等其他形状 | ||||||||
纯度% | 4N | ||||||||
相对密度 % | ≥98% | ||||||||
制造规格(m m) | Φ135* Φ150 * L200、W250 *L300 *T12 | ||||||||
电阻率(mΩ.cm) | 1~15× 10⁻³Ω▪cm | ||||||||
杂质不大于 | Fe | Al | Si | Ni | Ta | Mn | Cr | 总和 |
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20 | 10 | 30 | 10 | 50 | 10 | 10 | 100 |
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