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Si靶材
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Si靶材
Si靶材
主要技术指标
品名
Si靶材
成分
单晶或多晶硅
外观
银灰色,片状或管状等其他形状
纯度%
5N
相对密度 %
≥95%
制造规格(m m)
Φ135* Φ151 * L254、Φ135* Φ150*L780、W430*L430*T8、W127*L237.2*T12
电阻率(mΩ▪cm)
<0.02Ω▪cm/1~3Ω▪cm
用途:应用于OLEO,真空镀膜,电子,光电,军用,装饰镀,功能薄膜等领域。
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