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主要技术指标
| 品名 | Si靶材 |
| 成分 | 单晶或多晶硅 |
| 外观 | 银灰色，片状或管状等其他形状 |
| 纯度% | 5N |
| 相对密度 % | ≥95% |
| 制造规格（m m） | Φ135* Φ151 * L254、Φ135* Φ150*L780、W430*L430*T8、W127*L237.2*T12 |
| 电阻率（mΩ▪cm） | <0.02Ω▪cm/1～3Ω▪cm |
Si靶材
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