品名

氧化铟锡（ITO）靶材

成分

In₂O₃:SnO₂ (90:10 ±0.5wt),

其他比例按照客户要求

外观

黑色或深灰色

纯度(%)

≥ 99.99%

相对密度(%)

≥ 99.5%

制造规格(mm)

最大尺寸1200*300平面靶

电阻率(mΩ·cm)

≤1.8×10^-4Ω·cm

杂质≤ (ppm)

Fe

Al

Si

Ni

Cu

Pb

Cr

Sum

15

10

15

5

5

5

5

100