品名

氧化铌靶材

原料

氧化铌

外观

黑灰色，片状或管状等其他形状

纯度(%)

99.95%

密度(g/cm3)

4.47

制造规格

ϕ135×ϕ150×L200、W250×L300×T12

杂质≤ (ppm)

Fe

Al

Si

Ni

Ta

Mn

Cr

Sum

20

10

30

10

50

10

10

100